日前，東南大學(xué)射頻與光電集成電路研究所(射光所)王志功教授團(tuán)隊的王科平副研究員在集成電路與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)協(xié)同設(shè)計方面取得重要進(jìn)展。成果以“Design of a 1.8-mW PLL-free 2.4-GHz receiver utilizing temperature-compensated FBAR resonator(基于溫度補(bǔ)償薄膜體聲波諧振器的1.8毫瓦無鎖相環(huán)2.4GHz接收機(jī)芯片)”為題發(fā)表于集成電路領(lǐng)域頂級期刊IEEE Journal of Solid-State Circuits (JSSC, 2018, DOI: 10.1109/JSSC.2018.2801829)。該論文第一單位為東南大學(xué)，王科平副研究員為第一作者與通訊作者。JSSC自1966年創(chuàng)刊以來，共發(fā)表12300余篇，大陸地區(qū)僅發(fā)表文章50余篇。
 

 
　　圖為薄膜體聲波諧振器芯片照片以及溫度系數(shù)測試結(jié)果，芯片面積小于0.01mm2，在六寸晶圓上其溫度系數(shù)中位數(shù)僅為0.89ppm/°C
 

 
　　圖為集成電路芯片照片，采用臺積電TSMC 65-nm CMOS工藝流片，芯片面積僅僅為1.5mm2
 
　　課題組成員開發(fā)了一種基于薄膜體聲波諧振器的2.4GHz ZigBee射頻接收機(jī)芯片，提出了一種新穎的2.4GHz射頻芯片系統(tǒng)架構(gòu)，能夠從單一頻點的MEMS振蕩器綜合出ZigBee通信標(biāo)準(zhǔn)所需要的本振信號，從而解決了傳統(tǒng)射頻接收機(jī)芯片高度依賴于片外晶振的缺點，芯片功耗僅僅1.8mW。其他相關(guān)研究成果發(fā)表于IEEE Microwave and Wireless Components Letters(2018, DOI:10.1109/LMWC.2017.2787064)以及IEEE Sensors Journal(2018, DOI: 10.1109/JSEN.2018.2790581)。
 
　　相關(guān)項目研究得到了國家自然基金面上項目，國防創(chuàng)新項目和中央高校基本科研業(yè)務(wù)費的資助